等離子清洗機(jī)原理是在真空狀態(tài)下使電極之間形成高頻交變電場，區(qū)域內(nèi)氣體在交變電場的激蕩下，形成等離子體，活性等離子對被清洗物進(jìn)行物理轟擊與化學(xué)反應(yīng)雙重作用，使被轟擊與化學(xué)反應(yīng)雙重作用，使被清洗物表面物質(zhì)變成粒子，和氣態(tài)物質(zhì)，經(jīng)過抽真空排出，而達(dá)到清洗目的。

      等離子體清洗機(jī)作為一種精密干法清洗設(shè)備，應(yīng)用于半導(dǎo)體、厚膜電路、元器件封裝前、COG前工序、LED后工序、真空電子、連接器和繼電器等行業(yè)的精密清洗、塑料、橡膠、金屬和陶瓷等表面的活化以及生命科學(xué)實(shí)驗(yàn)等。

特點(diǎn)：
1、所有關(guān)鍵部件全部采用進(jìn)口，確保設(shè)備運(yùn)行壽命和產(chǎn)品質(zhì)量。
2、PLC或工控機(jī)控制，工藝參數(shù)、運(yùn)行時間、工藝過程實(shí)時監(jiān)視并顯示運(yùn)行狀態(tài)包括自動模式和手動模式。
3、清洗時間、基礎(chǔ)壓力、功率、流量設(shè)定可調(diào)。
4、工作氣體壓力低、壓縮空氣壓力低、泵熱過載、反應(yīng)倉泄露、反射功率過大報警。
5、可根據(jù)客戶工藝定制（在線式）等離子體清洗機(jī)。

1、什么是等離子體
     等離子體是物質(zhì)的一種存在狀態(tài),通常物質(zhì)以固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)3種狀態(tài)存在,但在一些特殊情況下可以以第四種狀態(tài)存在,如太陽表面的物質(zhì)和地球大氣電離層中的物質(zhì)。這類物質(zhì)所處在的狀態(tài)稱為等離子體狀態(tài)，又稱為物質(zhì)的第四態(tài)。等離子體中存在下列物質(zhì)。處于高速運(yùn)動狀態(tài)的電子；處于激活狀態(tài)的中性原子、分子、原子團(tuán)(自由基)；離子化的原子、分子；分子解離反應(yīng)過程中生成的紫外線；未反應(yīng)的分子、原子等，但物質(zhì)在總體上仍保持中性狀態(tài)。

2、如何用人工方法制得等離子體
     通過多種形式，如電弧放電、輝光放電、激光、火焰或者沖擊波等，都可以使處于低氣壓狀態(tài)下的氣體物質(zhì)轉(zhuǎn)變成等離子體狀態(tài)。如在高頻電場中處于低氣壓狀態(tài)的氧氣、氮?dú)?、甲烷、水蒸氣等氣體分子在輝光放電的情況下,可以分解出加速運(yùn)動的原子和分子，這樣產(chǎn)生的粒子被解離成電子和有正負(fù)電荷的原子和分子。這樣產(chǎn)生的帶電粒子和電子在電場中加速時會獲得高能量，并與周圍的分子或原子發(fā)生碰撞，結(jié)果使分子和原子中又激發(fā)出電子，而本身又處于激發(fā)狀態(tài)和離子狀態(tài)，這時物質(zhì)存在的狀態(tài)即為等離子體狀態(tài)。

3、等離子體的種類
（1）從溫度上區(qū)分，可分為高溫等離子體和低溫等離子體兩類。
（2）從氣體活潑程度區(qū)分，根據(jù)產(chǎn)生等離子體時應(yīng)用的氣體的化學(xué)性質(zhì)不同，可分為活潑氣體等離子體和惰性氣體等離子體兩類。

4、等離子體與物體表面的作用
     在等離子體中除了氣體分子、離子和電子外，還有存在受到能量激勵狀態(tài)電中性的原子或原子團(tuán)(又稱自由基)，以及等離子體發(fā)射出的光線，其中波的長短、能量的高低,在等離子體與物體表面相互作用時有著重要的作用。
（1）原子團(tuán)等自由基與物體表面的反應(yīng)
（2）電子與物體表面的作用
（3）離子與物體表面的作用
（4）紫外線與物體表面的反應(yīng)